Mengapa Kita Beralih dari Penggunaan Udara Panas ke Radiasi Inframerah dalam Proses Pemprosesan Semikonduktor
Bayangkan bagaimana cara oven biasa berfungsi. Udara dipanaskan terlebih dahulu, dan kemudian udara tersebut digunakan untuk memanaskan bahan yang akan diproses. Cara ini memang sesuai untuk membuat kek, tetapi bagaimana pula dengan proses pemprosesan semikonduktor? Ia merupakan proses yang lambat, kerana kita perlu menunggu sehingga udara cukup panas untuk memanaskan bahan tersebut.
Itulah sebabnya ramai jurutera memilih untuk menggunakan pengeluar radiasi inframerah daripada menggunakan udara panas. Radiasi inframerah tidak melibatkan penggunaan udara sama sekali. Ia langsung menghantar tenaga ke permukaan bahan yang ingin diproses. Ini merupakan cara yang lebih efektif, kerana ia menghilangkan masa tunggu yang diperlukan untuk bilik menjadi panas.
Rahsianya Terletak pada Penutup Seramik
Jika anda menggunakan pengeluar radiasi inframerah yang berkuasa tinggi, kualiti penutup sangat penting. Kami menggunakan penutup seramik untuk menyambungkan tiub kuarsa dengan kabel elektrik. Mengapa seramik? Kerana logam tidak mampu menahan suhu yang tinggi. Apabila suhu meningkat, logam akan rosak. Namun, seramik tetap tahan walaupun berada di bawah beban haba yang tinggi. Ini bermakna penutup tersebut tidak akan pecah ketika mesin beroperasi.
Selain itu, penutup seramik juga membantu memastikan filamen berada di posisi yang tepat. Jika filamen bergeser sedikit saja, ia akan menyebabkan titik panas. Titik panas ini boleh merosakkan wafer atau menyebabkan proses pemprosesan menjadi tidak sempurna. Kami memastikan penutup tersebut sesuai dengan kadar pengembangan termal kuarsa, supaya lampu tidak akan pecah sebaik sahaja suis dihidupkan.
Kelajuan vs. Suhu
Pengeluar radiasi inframerah memberikan hasil yang sangat baik. Ketumpatan haba per inci persegi jauh lebih tinggi berbanding kaedah penggunaan udara panas. Dengan cara ini, suhu sasaran dapat dicapai dalam masa beberapa saat sahaja.
Inilah sebabnya mengapa ia menjadi standard baru dalam proses pemprosesan semikonduktor. Ia membolehkan lebih banyak produk diproses dalam masa yang singkat.
Namun, ada juga kelemahannya. Intensiti haba yang tinggi ini akan memberi tekanan yang besar pada komponen mesin. Walaupun kita dapat menjimatkan masa, namun kita sebenarnya sedang mencipta “matahari mini” di dalam mesin tersebut. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, peralatan elektronik akan rosak. Semua ini memerlukan keseimbangan yang tepat.