इन्फ्रारेड बनाम संवहन वेफर सुखाने के लिए

वाफर अंतिम रिंस से बाहर आता देखिए। यदि ड्राइंग चरण थर्मल बजट को पूरा नहीं करता है, तो माइक्रो-पूलिंग बनी रहेगी—और अगली फोटोरेजिस्ट की परत इसके साथ...