आईआर हीटिंग के द्वारा उचित थर्मल नियंत्रण प्राप्त करना
यदि हम वास्तव में सेमीकंडक्टर फैक्ट्रियों के कार्बन फुटप्रिंट को कम करना चाहते हैं, तो हमें उन पुराने रेजिस्टिव हीटरों पर निर्भर रहना बंद करना होगा। इन्फ्रारेड (IR) लैंप सिस्टम का उपयोग करना ही सही विकल्प है; क्योंकि ऐसे सिस्टम वेफर पर सीधे ही ऊष्मा पहुँचाते हैं, और आसपास की जगहों को गर्म करने में ऊर्जा बर्बाद नहीं होती।
लेकिन एक समस्या है…
इन्फ्रारेड हीटिंग बहुत तेज़ होती है। यदि तापमान मापने वाले उपकरण इतनी तेज़ गति का सामना नहीं कर पाते, तो वेफर नष्ट हो जाता है।
विलंब की समस्या
सामान्य थर्मोक्यूपल अक्सर बहुत धीरे काम करते हैं। ऐसी स्थिति में तीन सेकंड का विलंब भी बहुत बड़ी समस्या है… क्योंकि इससे वेफर नष्ट हो जाते हैं।
इस समस्या को दूर करने हेतु हम पतले, उच्च संवेदनशील थर्मोक्यूपलों का उपयोग करते हैं। ऐसे उपकरणों से ही सतह पर वास्तव में क्या हो रहा है, इसका पता चलता है।
शोर एवं अन्य समस्याओं से निपटना
सेमीकंडक्टर उपकरणों से बहुत शोर उत्पन्न होता है। ऐसी स्थिति में शील्डेड केबलों का उपयोग करके ही इस शोर को दूर किया जा सकता है।
“ग्रीन फैक्ट्री” की वास्तविकता
अधिक कुशल “ग्रीन फैक्ट्री” स्थापित करने हेतु अधिक सटीकता आवश्यक है। ऐसा करने से ऊर्जा बचती है, लेकिन पुरानी व्यवस्थाओं की सरलता खो जाती है।
ऐसे सेंसर बहुत ही संवेदनशील होते हैं… थोड़ी भी लापरवाही से उनका नुकसान हो सकता है। ऐसी स्थिति में PID लूप भी ठीक से काम नहीं कर पाता।
सेंसर को इन्फ्रारेड स्रोत से ठीक पास ही रखना आवश्यक है… लेकिन इसके लिए सेंसर के तारों को सीधे विकिरण से दूर रखना आवश्यक है। अन्यथा, अतिरिक्त ऊष्मा के कारण सेंसर के आँकड़े गलत हो जाते हैं।
इसके अलावा, कूलिंग सिस्टम भी अच्छा होना आवश्यक है… यदि चेसिस गर्मी को अवशोषित करने लगे, तो सेंसर “गर्म” ही दर्शाएगा… भले ही वेफर वहाँ ही न हो। इसलिए ऊष्मा को संतुलित रखना बहुत ही महत्वपूर्ण है।