लाइन पर, जब BCB लेयर पर थर्मल प्रोफाइल में विचलन होता है, तो आपको हार्ड स्टॉप नहीं मिलता। आपको धीरे-धीरे यील्ड लीक मिलता है—अवशिष्ट तनाव और चिपकने की समस्या जो टेस्ट में घंटों बाद प्रकट होती है। हमने BCB क्योरिंग लैंप को इस विचलन को स्रोत पर खत्म करने के लिए बनाया। लिथोग्राफी, पैकेजिंग और क्लीनिंग में, तापमान कोई अनुमान नहीं है। यह एक प्रक्रिया चर है जिसे आपको नियंत्रित करना होता है।
हाइड के नीचे क्या महत्वपूर्ण है
लैंप एक हैलोजन/क्वार्ट्ज शॉर्ट-वेव एमिटर को इंजीनियर्ड रिफ्लेक्टर के साथ जोड़ता है, ताकि ऊर्जा BCB स्टैक पर सटीक दिशा और तीव्रता से पड़े। सक्रिय क्षेत्र में, वेफर-स्तर की समानता ±0.1°C पर बनी रहती है, और रन-टू-रन रिपीटेबिलिटी ट्रेसेबल होती है। लैंप हेड क्लीनरूम-कंपैटिबल है क्लास 1–100 के लिए, जिन सामग्रियों और फिनिशेस से पार्टिकल जेनरेशन शून्य पर रहता है। आउटपुट 5,000+ घंटे तक स्थिर रहता है, तीव्रता विचलन 5% से कम होता है, और थर्मल प्रोफाइल पहले लॉट से सौवें लॉट तक दोहराया जाता है।
जहाँ यह अपनी उपयोगिता साबित करता है
इसे वेफर ड्राइंग के लिए इस्तेमाल करें वेट क्लीनिंग के बाद, फोटोरेसिस्ट सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक के लिए, पैकेजिंग अंडरफिल और एनकैप्सुलेट क्योरिंग के लिए, तथा अंतिम रिंस-एंड-ड्राई के लिए जहाँ सतह तनाव को पूरी तरह तोड़ना होता है। तेज़ रैम्प साइकिल टाइम को कम करता है बिना थर्मल बजट को प्रभावित किए, और कड़क समानता फिल्म तनाव और पैटर्न विकृति को नियंत्रित रखती है। समान थ्रूपुट पर, आप कन्वेक्शन ओवन की तुलना में कम ऊर्जा खपत करेंगे, और लैंप हेड तेजी से बदल जाता है—कम अनियोजित डाउनटाइम।
फील्ड नोट्स जो आपके काम आएंगे
लैंप ऑप्टिकल एलाइनमेंट के प्रति संवेदनशील है—एमिटर से सब्सट्रेट के बीच गैप को निश्चित और दोहराने योग्य रखना जरूरी है ताकि स्पेक को बनाए रखा जा सके। चैंबर को ड्राई एयर या नाइट्रोजन से प्योर रखें ताकि क्वार्ट्ज एनवेलप ऑक्सीडाइज न हो। लैंप हेड स्वैप के बाद, यह 15 सेकंड के भीतर सेट हो जाता है। इसे मौजूदा ट्रैक या कोटर लाइन में डालने से पहले, रेटिकल और चक की संगतता को दोबारा जांच लें।