در فضای کاری، دستگاه برداشتن فوتورزیست تا زمانی که به دمای لازم نرسد، در حالت تعلیق باقی میماند. اگر هیتر مورد استفاده برای گرم کردن دستگاه، دمای خود را تغییر دهد، باقیماندههایی ایجاد میشود؛ در نتیجه لایه بعدی نمیتواند به درستی به سطح ویفر چسبد. بنابراین، نیاز به کنترل دمایی دقیق وجود دارد تا دمای مورد نظر در هر بار استفاده از دستگاه حفظ شود.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
ما هیتر مورد استفاده برای برداشتن فوتورزیست را با استفاده از امیترهای کوارتزی با طول موج کوتاه ساختیم. این امیترها سریع پاسخ میدهند و به شما امکان کنترل دقیق دما را میدهند. این دستگاه، یکنواختی دمایی در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد را فراهم میکند؛ بنابراین پروفایلهای گرمایشی دستگاه در سراسر کاسет یکنواخت خواهد بود. این دستگاه در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ کار میکند؛ همچنین، ما از روشهای نظارت در حین کار برای اطمینان از عدم تولید ذرات استفاده میکنیم. در شرایط واقعی، این دستگاه میتواند ۲۴ ساعته و ۷ روز در هفته کار کند؛ مدت زمان کاری آن بیش از ۵۰۰۰ ساعت است و انحراف دمایی آن کمتر از ۵٪ است. ولتاژ ورودی این دستگاه بین ۲۰۸ تا ۲۴۰ ولت است؛ همچنین، این دستگاه دارای ابعاد کوچکی است که برای استفاده در سیستمهای قدیمی نیز مناسب است. رابطهای استفاده شده در این دستگاه نیز استاندارد هستند.
چرا این موضوع اهمیت دارد
فرآیند برداشتن فوتورزیست، در واقع یک فرآیند حرارتی است. وقتی که هیتر به سرعت به دمای لازم میرسد، زمان تعلیق دستگاه کاهش مییابد و لازم نیست ویفرهایی که به درستی گرم نشدهاند، از بین بروند. یکنواختی دمایی، کنترل ابعاد حیاتی ویفرها را در پس از فرآیند لیتوگرافی تسهیل میکند؛ همچنین، این امر باعث میشود که مقدار شیمی مورد استفاده کاهش یابد. نتیجه این امر، زمان کاری پیشبینیپذیر، کاهش تعداد محصولات باکیفیت پایین، و صرفهجویی در مصرف انرژی خواهد بود.
چه چیزهایی باید در هنگام نصب در نظر گرفت
مطمئن شوید که فلنجهای دستگاه با یکدیگر هماهنگ باشند و موقعیت قرارگیری امیترها نسبت به مسیر ویفر دقیق باشد. امیترهای کوارتزی با طول موج کوتاه، سریع گرم میشوند؛ اما این منطقه گرم نیاز به محافظت مناسبی دارد تا سیلهای پلیمری آسیب نبینند. هنگام تغییر رژیمهای کاری، باید یک فرآیند کالیبراسیون کوتاه انجام شود؛ همچنین، باید از سازگاری دستگاه با شرایط اتاق پاکسازی اطمینان حاصل شود. ما نقشههای مربوط به رابطهای اتصال دستگاه را از قبل ارسال میکنیم تا ریسکهای مربوط به یکپارچهسازی دستگاه کاهش یابد.