Warum wir für die Heizsysteme in den Reinräumen Infrarot-Heizung verwenden
In einer Halbleiterfabrik ist „umweltfreundlich“ nicht einfach nur ein Begriff, der in Broschüren verwendet wird, um einen guten Eindruck zu machen. Es handelt sich dabei um eine Notwendigkeit – schließlich kann bereits ein einziger Chemikalienrest oder ein wenig Schwermetall dazu führen, dass das Wafer beschädigt wird. Deshalb haben wir auf die alte Methode verzichtet und stattdessen Infrarot-Heizung für unsere Heizsysteme eingesetzt. Keine chemischen Lösungsmittel, keine Katalysatoren aus Schwermetallen – nur Sauberkeit.
Physikalisch gesehen heizen normale Heizungen lediglich die Luft auf. Infrarot hingegen sendet Energie direkt in das Material mittels elektromagnetischer Strahlung. Das bedeutet, dass keine kontaminierte Luft in den Reinraum gelangt. Stattdessen werden die spezifischen Molekülvibrationsmustern des Beschichtungsstoffs oder Klebstoffs angegangen. Dadurch entsteht Wärme von innen heraus. Das Verfahren ist schnell – wirklich sehr schnell. Zudem bleibt alles sauber.
Außerdem erleichtert diese Methode die Einhaltung von Umweltstandards erheblich. Die alten Lufterhitzer sind eine Qual: Sie geben VOCs ab und benötigen oft Blei-basierte Lötflussmittel, die bei hohen Temperaturen funktionieren müssen. Mit Infrarot-Heizung können wir stattdessen Harze verwenden, die bei niedrigen Temperaturen und ohne Blei funktionieren.
Und die Energieeinsparungen? Sie sind enorm. Man verschwendet kein Geld damit, den ganzen Raum zu heizen – man heizt nur die Stellen, die tatsächlich benötigt werden.
Aber es ist nicht alles perfekt. Es gibt einige Aspekte, auf die man achten muss. Hochintensive Infrarotlampen haben zwar eine große Heizleistung, doch sie erzeugen einen starken Temperaturunterschied. Wenn ein Bauteil Stellen mit dickerer und dünnerer Beschichtung hat, können die dünnen Stellen bereits vor dem Aushärten der dickeren Stellen verbrennen. Man muss also sehr sorgfältig mit der Entfernung der Lampe sowie der Pulszeit umgehen, damit das Bauteil nicht verformt wird.
Wir haben diese Systeme so konzipiert, dass sie als Ersatz für die komplizierten Konvektionsheizer dienen können. Dadurch wird der Platzbedarf reduziert und die Aushärtezeiten verkürzt.
Hinweis: Stellen Sie sicher, dass die Abdeckung des Trolleys für die verwendete Infrarotwellenlänge geeignet ist. Andernfalls könnten die umliegenden Kunststoffe beschädigt werden.